測量顯微鏡107JA采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測量。廣泛地適用于計量室，生產作業(yè)線以及科學研究等部門
測量顯微鏡107JA
一、用途：
107JA測量顯微鏡，采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測量。廣泛地適用于計量室，生產作業(yè)線以及科學研究等部門。
儀器進一步可連接CCD攝像頭等視頻系統(tǒng)，對工件的輪廓放大后在顯示器上瞄準，提高測量精度。亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。
二、技術規(guī)格
鏡筒 | 粗 動 | 調節(jié)范圍 90毫米 | |
微 動 | 調節(jié)范圍 2毫米 | ||
高（Z)測量 | 1毫米zui小讀數(shù)0.001毫米（干分表讀數(shù)） | ||
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | ||
工作臺 | 左右（X軸） | 移動范圍50毫米 | |
前后（Y)軸 | 移動范圍50毫米 | ||
分 辨 率 | 1微米 | ||
旋 轉 | 360° | ||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍、綠濾色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | ||
斜照明 | 8V-15W | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | ||
光學系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X | |
物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 | ||
10X 工作距離11.6 焦距15.4 | |||
40X 工作距離0.66 焦距4.4 | |||
本儀器采用數(shù)顯讀數(shù)頭，操作方便，可靠性強。
加裝光柵測量尺和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，通過計算機接口和二維測量程序可使被測工件的輪廓直接顯示在計算機屏幕上，可導入AutoCAD進行編輯。
儀器升級：
二維測量程序包括點、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測量功能。本儀器放大倍數(shù)高，工作臺除作X，Y坐標的移動外，還可以作360°的旋轉，亦可以進行高度方向Z坐標的測量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外，還有斜光線照明。
測量顯微鏡107JA
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